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真空爐在使用中常遇見以下故障：(必須由相應技術人員處理)
一、電氣故障
（一）溫度異常，包括溫度過高報警、或顯示溫度達不到設定值。
溫度過高報警故障解除方法：
1. 首先檢查所在工作區溫控器參數是否正常，參考其他正常使用中的溫控器校對所有參數。
2. 根據電路圖檢查相應工作區的固態繼電器輸出端是否被擊穿，具本方法：停電后，用萬用表電阻檔測量固態繼電器輸出端兩點之間的電阻，正常時，電阻會有幾兆歐以上，如果被擊穿，則幾乎沒有電阻，必須按同型號換上新的。
3. 在通電開機的情況下，用手輕搖相應工作區內的熱電偶探頭，看看所對應的溫控器顯示是否跳動幅度很大，如果有此現象，則說明熱電偶探頭接觸不良，需更換新的。
顯示溫度偏低達不到設定值
1. 同樣，首先檢查所在工作區溫控器的參數是否正常，是否有輸出信號。
2. 檢查所對應工作區的熱電偶是否受損，為了驗正這些熱電偶是否良好，可將它們跟正常溫控器上的熱電偶互換接到溫控器上，觀察溫度顯示情況。如果確實是熱電偶損壞，必須更換。(注意：如果更換的熱電偶是內腔里的，還會涉及到真空密封性能，另外詳解)
3. 如果溫控器、熱電偶都沒問題，則需要測驗發熱管是否正常通電工作。方法：通電開機后，啟動加熱，根據電路圖，直接用試電筆測試對應工作區的發熱管連接的導線(在固態的輸出端上白色高溫線即是)，看是否有電到。如果有電到達，還需要用鉗表測量一下電流是否與其他工作區的差別，正常情況下，差異不大。
4. 如果沒有電到達，則必須按電路圖對電路逐一檢查，看看在哪個環節電截止了，是否有元件燒壞?
(二)真空異常現象
真空抽不上或偏低，
1. 首先確認廠房的真空氣源是否正常(-95KPa以上)，壓縮氣壓是否正常，(正常使用范圍是0.4— 0.6 MPa)。
2. 檢查真空表是否良好，對照正常使用中的真空表，看看參數是否正常?
3. 檢查門是否關緊，門口的密封膠卷是否有破損，有變形，門板上是否沾有異物?請仔細檢查!
4. 如果門沒有問題，則需檢查對應工作區的管道，氣動閥，熱電偶穿入口等位置。通常在熱電偶入口處出現情況較多，因為如果有更換熱電偶的，常常會破壞了真空的密封性能，必須重新打AB膠進行密封。
二、機械結構故障
1.門關不緊，檢查門的合葉是否松動，拉扣是否變形，門口密封膠條是否破損，門板是否變形?
2.風機有異響，請仔細檢查是否有異物進入風機的風輪里面，或固定電機馬達的螺絲是否松動。
3.氣動閥無法動作，首先檢查對應的電磁閥是否能正常工作，壓縮空氣壓力是否達到工作要求?如果氣壓正常，且電磁閥也良好，則肯定是氣動閥本身壞了，必須更換新的。